第125章 改良方案（第1 / 6页）

计划归计划，该拆的设备还是得拆。

不过康驰也不用把它拆得非常零散，只需要把几个模块给分开就行了。

反正这玩意拆了外壳，谁也不认不出是什么东西。

由于工作量比较大，康驰只能在东阳又多停留了一周，

同时在拆解休息的时候，他还抽空看了看常春光所的EUV设计图，把图纸都给吃透得差不多了。

在光刻机的EUV光源中，有两个相对成熟可靠的方案，即DPP和LPP方案。

这两个方案，其实原理都是差不多的，就是利用锡转换成等离子体的过程中，可以释放出极紫外光，

区别只是DPP是用电击锡来激活，LPP是用激光二次打击锡液激活。

按照华国的一贯风格，自然是啥都要试试，

所以目前这两个方案，分别由常春光所、魔都光所负责研发。

其中魔都光所的LPP方案，进展其实是最快的，据说功率已经达到了188W，转换效率为3.7%，基本能够进入实用化了。

但LPP方案中所需的脉冲大功率二氧化碳激光器，依然没有攻克，目前只有M国和岛国能够生产，和EUV光刻机一样有钱也买不到。

所以虽然阿斯麦的EUV光刻机，用的就是这个方案，算是给华国指明了方向，但因为专利壁垒和禁售，挑战反而更大。